Інтегрований вимірювач товщини та площинної щільності CDM

Застосування

Процес нанесення покриття: онлайн-виявлення дрібних особливостей електрода; поширені дрібні особливості електрода: періодичне голодування (відсутність витоку струмознімачів, невелика різниця сірого з нормальною ділянкою покриття, невдача ідентифікації CCD), подряпина, контур товщини стоншення ділянки, виявлення товщини AT9 тощо.

Надіслати нам електронного листа

Деталі продукту

Теги продукту

Принципи вимірювання

Принципи вимірювання поверхневої густини

Метод рентгенівського/β-поглинання

Принципи вимірювання товщини

Кореляція та лазерна тріангуляція

Технічні характеристики випробувань CDM

Сценарій 1: На поверхні електрода є 2-міліметровий проміжок/недолік, один край якого товщий (синя лінія, як показано нижче). Коли пляма променя становить 40 мм, вплив форми виміряних вихідних даних (помаранчева лінія, як показано нижче) виглядає помітно меншим.

Сценарій 2: дані профілю області динамічного проріджування, ширина даних 0,1 мм

Функції програмного забезпечення

Технічні параметри

Ім'я	Індекси
Швидкість сканування	0-18 м/хв
Частота дискретизації	Поверхнева щільність: 200 кГц; товщина: 50 кГц
Діапазон вимірювання поверхневої щільності	Поверхнева щільність: 10~1000 г/м²; товщина: 0~3000 мкм;
Повторення вимірювання точність	Поверхнева щільність: 16-секундний інтеграл: ±2σ: ≤±істинне значення * 0,2‰ або ±0,06 г/м²; ±3σ: ≤±істинне значення * 0,25‰ або +0,08 г/м²; 4s інтеграл: ±2σ: ≤±істинне значення * 0,4‰ або ±0,12 г/м²; ±3σ: ≤±істинне значення * 0,6‰ або ±0,18 г/м²;Товщина: Зона 10 мм: ±3σ: ≤±0,3 мкм; зона 1 мм: ±3σ: ≤±0,5 мкм; Зона 0,1 мм: ±3σ: ≤±0,8 мкм;
Кореляція R2	Поверхнева щільність >99%; товщина >98%;
Лазерна пляма	25*1400 мкм
Клас радіаційного захисту	Національний стандарт безпеки GB 18871-2002 (звільнення від радіаційного впливу)
Термін служби радіоактивних матеріалів джерело	β-випромінювання: 10,7 років (період напіврозпаду Kr85); рентгенівське випромінювання: > 5 років
Час відгуку вимірювання	Поверхнева щільність < 1 м²; товщина < 0,1 м²;
Загальна потужність	<3 кВт